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显微式激光测振仪

2016-9-29 13:55| 发布者: kraka2016| 查看: 1179| 评论: 0

摘要: 随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微机电系统的相关测试需求也日益增长,然而由于其尺寸小、质量轻、振幅小、易受外界干扰等因素的影响,常规的接触式测量手段无法对其振动特性进行测试;对于非接触式测量而言, ...
随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微机电系统的相关测试需求也日益增长,然而由于其尺寸小、质量轻、振幅小、易受外界干扰等因素的影响,常规的接触式测量手段无法对其振动特性进行测试;对于非接触式测量而言,由于激光光斑大小的限制,常规的激光测振仪也无法对其进行测量,因此开发一款能够专门用于这类微机电系统的非接触式的光学振动测量系统对于微机电系统的发展而言变得至关重要。

         

部分生命科学、医学、动物学研究工作开始迈向微型动态特性及形貌特征的研究,然而还没有好的方法去检测微型生物活体的振动特性和体貌,目前主要依靠视觉进行观察(使用显微镜)。

众所周知,显微镜可以观察微小物体的结构但不能测振,而多普勒激光测振仪可以测振但受其激光光斑大小的限制无法对微型物体的振动特性进行测试,如果能够将显微镜和多普勒激光测振仪结合起来,那么就能大大提升对微型物体振动特性研究的效率和精确性。基于此,宁波舜宇智能科技有限公司特别研发了显微式激光测振仪。

显微激光测振仪是一款全新的集多功能于一身的非接触式振动测量仪器,也是一款可视化显微测量分析的理想工具。它可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量,可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌,激光光斑达微米量级,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态(频率、速度、加速度、位移)等信息。

产品特征

  •  非接触测量,无负载;
  •  激光光斑极小,微米级;
  • 优越的带宽和动态范围;
  • 高空间分辨率;
  • 工作距离可选;
  • 高灵活性、易安装、易操作;
  • 振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高;
  • 配有同轴照明装置和相机,可以方便迅速地确定测量位置。

产品优势

1、快速识别可视化系统共振和静态形貌特性

2、集成显微镜,激光光斑(投射焦点)可聚焦至微米级,具有最好的横向分辨率和最清晰的图片质量

3、可测的振动频率可达2.5MHZ

4、可与MEMS或探测站整合使用

5、简单直观操作,配有同轴照明装置和相机,可以方便迅速地确定测量位置

6、测量周期短,大大提供产品生产效率

7、加速产品研发,减少产品上市时间

8、利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性 (可拓展定制)

9、通过白光干涉测量物体形貌特性(可拓展定制)

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